发布时间:2026-10-17
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即便选用了专用无尘布,错误的擦拭手法依然会造成裸芯片报废,很多产线不良并非耗材问题,而是操作方式不当。
严禁干擦裸芯片表面。干擦有两大隐患:一是摩擦产生静电,ESD 静电击穿芯片;二是干态纤维硬度更高,极易划伤钝化层与焊垫。合规操作方式一般是无尘布蘸取适量高纯 IPA 异丙醇等溶剂,保持微湿状态,采用单向轻吸附方式,禁止来回往复擦拭。

擦拭力度必须控制,仅依靠溶剂浸润吸附污染物,不能施加压力按压。裸芯片钝化层厚度仅几百纳米,轻微压力配合硬质颗粒,就会产生肉眼不可见的微损伤。

同时作业环境要求在百级洁净工作台内完成,操作人员佩戴无尘手套、无尘指套与防静电手环。外部环境浮尘,会随着擦拭动作附着在裸芯片表面。
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